新たに整備された主な計測分析機器は表のとおりです。
これらの計測分析機器は、当センターで実施する重点研究プロジェクトや、開発型の中堅・中小企業を中心に広く、一般の企業にご利用いただき、新技術・新製品開発の取組みを支援することを目的に設置しています。
次に主要な計測分析機器を紹介いたします。
透過電子顕微鏡（TEM、写真1）は試料に電子線を照射し、透過してきた電子を検出することで、試料の微小領域の内部構造や結晶構造を高倍率で観察できる装置です。また、分析ツールを併用して元素分析をナノレベルで行うことができます。金属、無機材料、半導体などの観察に向いています。
X線光電子分光装置（XPS、写真2）は、X線を試料に照射すると「光電子」と呼ばれる電子が表面から放出されますが、この電子のエネルギーの大きさや強度の分布を調べることで、金属、半導体、有機物、セラミックスなどの固体材料の化学状態分析ができる装置です。材料表面の成分だけでなく、化学状態がわかるため、電池、LED素子、機能性化学材料など先端材料のさまざまな分野の研究・開発への活用ができます。
飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS、写真3）は、イオンパルスの照射によって、試料の最表面から発生する二次イオンを飛行時間型質量分析計で分析し、表面の化学構造を調べる装置です。測定できる質量範囲が広く、空間分解能が高いため、表面微量不純物の同定や、有機表面処理の解析、高分子の構造解析など、多方面で利用することができます。
顕微ラマン分光測定装置は、試料に光を照射し、入射光とは異なる波長に散乱されるラマン散乱により分子構造を知るための装置です。とくにカーボン材料、シリコン材料の構造評価に有用です。
核磁気共鳴装置（NMR）は、磁場中で試料分子にラジオ波を照射したときの共鳴周波数を測定することにより、分子構造を知るための装置です。とくに有機化合物の構造決定において広く利用されています。
X線回折装置（XRD）は、物質の原子レベルでの並び方を解析するための装置です。周期的に並んだ原子の構造を反映した回折パターンを得ることで、原子の周期構造（=結晶）を明らかにすることができます。結晶構造で性能が決定されるセラミックスや半導体などの分野で幅広く利用されているほか、EL膜など薄膜の測定にも利用できます。
マトリックス支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析計（MALDI-TOFMS）は、試料をイオン化し、イオンの質量電荷比（m/z）を精密に測定することで、試料の分子量や元素組成を明らかにする装置です。低分子化合物から高分子化合物まで測定でき、測定できる対象が豊富であるため、食品分野や医薬品分野、合成高分子など、さまざまな分野の研究・開発に活用できます。
現在、センターに隣接して整備している「中部シンクロトロン光利用施設」（仮称、運営：（公財）科学技術交流財団）とともに、これらの計測分析機器を利用いただくことで、企業における技術開発・製品開発を支援してまいります。計測分析をはじめとする技術相談にも応じていますので、どうかお気軽にご相談ください。