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1. はじめに
電子のビーム(電子線)を光の代わりに試料に照射して観察をする電子顕微鏡には透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)と走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)の2つのタイプがあります。TEMは、試料を透過してきた電子線像を拡大することで、試料の断面すなわち内部の組織構造を観察する装置です。一方、SEMは、試料表面を電子線で走査したときに発生する反射電子や二次電子を検出することで、試料表面の凹凸を観察する装置です。